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XPS數(shù)據(jù)分析要注意什么

發(fā)布人:中科百測(cè) 發(fā)布時(shí)間:2021-12-08 15:27:56

  XPS數(shù)據(jù)解析是指通過(guò)對(duì)初始圖譜進(jìn)行定標(biāo)、分峰、擬合、比對(duì)、積分等一系列的操作而獲得待測(cè)樣品結(jié)構(gòu)組成一種數(shù)據(jù)處理手段,常用的XPS數(shù)據(jù)解析軟件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等,通過(guò)XPS數(shù)據(jù)分析我們可得到樣品表面的元素組成、含量、化學(xué)價(jià)態(tài)、官能團(tuán)種類、化學(xué)鍵合方式等信息,可分為定性分析和定量分析兩種。

  XPS數(shù)據(jù)分析注意事項(xiàng)

  1. XPS可以做的項(xiàng)目:常規(guī)全譜窄譜測(cè)試、俄歇譜、價(jià)帶譜、深度濺射、MAPPING、角分辨

  2. XPS測(cè)試的元素范圍是Li-Cm,H、He元素不能測(cè)試

  3. XPS數(shù)據(jù)分析可以等到元素的價(jià)態(tài)及半定量數(shù)據(jù)。原子百分含量小于5%的元素可能測(cè)不出明顯信號(hào)

  4. 無(wú)特殊說(shuō)明,默認(rèn)是使用單色化AlKa源(Mono AlKa)能量是1486.6eV

XPS數(shù)據(jù)分析要注意什么

  5. 使用Al Kα X-ray會(huì)出現(xiàn)的重疊譜峰,當(dāng)有重疊譜峰的時(shí)候直接定量的結(jié)果不能參考。下方是常見的一些重疊譜峰的情況,解決方法是

  a.通過(guò)分峰擬合(這個(gè)是數(shù)據(jù)分析的內(nèi)容)后再重新定量;

  b.測(cè)試其他軌道的峰,需要備注相應(yīng)的軌道,默認(rèn)是測(cè)試最強(qiáng)峰;

  c.如果是與部分元素的俄歇峰重疊,建議可以更換靶材試試,比如Mg靶

  6. XPS測(cè)試數(shù)據(jù)提供原始數(shù)據(jù),全譜圖譜,無(wú)元素分析,精細(xì)譜不做任何矯正,不同材料的矯正方法不同,可以提供矯正操作的視頻,鏈接。

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  1、中科百測(cè)擁有較全面的儀器設(shè)備,及多余年經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)。

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