Leica EM RES102 多功能離子減薄儀是萊卡公司生產的一款集TEM、SEM和LM樣品制備功能于一體的全自動桌面式設備。通過離子槍激發(fā)獲得離子束，以一定入射角度對樣品進行轟擊，以去除樣品表面原子，從而實現對樣品的離子束加工。該設備具有高能量離子研磨功能，也能用于低能量及溫和的離子束研磨，拋光區(qū)域可達25 mm，研磨過程參數全電腦控制。該設備廣泛用于無機薄片樣品的大面積減薄以有利于TEM觀察，也可對樣品表面污染層或涂層進行清潔，或用于樣品表面的離子束刻蝕，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內部結構信息。