掃描電鏡的特點：

1. 理論分辨率較高，實際拍攝結合到具體樣品，我們認為10nm以下尺寸的結構，建議用透射電鏡來做。

2. 掃描-EDS的空間分辨率我們認為實際應用中，一般是1um以上，如果想要分析的顆粒尺寸低于這個尺寸，建議用透射-EDS。

3. 制樣簡單，只要干燥即可，還要求導電性好，不過可以通過噴金進行改善。

4. 測試效果最接近人眼直接觀看的效果，立體感較強，只能看到表面信息，看不到樣品內(nèi)部信息。

4. 由于樣品經(jīng)過干燥，固定，噴金或者切割等步驟，以及實際拍攝時選擇的電壓，模式等參數(shù)，在進行尺寸測量以及圖片分析的時候，切記一定要謹慎分析，勿引入假象。