納米壓痕技術(shù)又稱深度敏感壓痕技術(shù)，它通過(guò)計(jì)算機(jī)控制載荷連續(xù)變化，并在線監(jiān)測(cè)壓入深度。一個(gè)完整的壓痕過(guò)程包括兩個(gè)步驟，即所謂的加載過(guò)程與卸載過(guò)程。在加載過(guò)程中，給壓頭施加外載荷，使之壓入樣品表面，隨著載荷的增大，壓頭壓入樣品的深度也隨之增加，當(dāng)載荷達(dá)到最大值時(shí)，移除外載，樣品表面會(huì)存在殘留的壓痕痕跡。