透射電鏡的特點:
1. 分辨率極高(目前微觀成像方法中分辨率最高的方法),最簡單的生物電鏡實際分辨率可以達到1 nm,場發(fā)射透射電鏡實際分辨率可以達到0.2 nm左右,經過球差矯正之后的球差電鏡分辨率可以達到0.078 nm,能夠非常清晰的分辨單個原子。
2.一般配置的TEM-EDS的空間分辨率我們認為實際應用中,一般是50 nm以上,配置了超級能譜的Talos f200X,他的EDS空間分辨率可以達到幾個nm,僅次于球差配置的能譜分辨率。
3.透射電鏡對樣品的要求較高,需要滿足干燥,樣品厚度低于500 nm,對于常規(guī)的納米材料,粉末或者溶液直接用載網擔載樣品即可,但是對于塊體,膜材,微米級別大顆粒,器件,生物組織樣本等,都需要經過特殊的樣品前處理,才能進樣拍攝。
4.透射電鏡成像模式較多,可以提供更多的晶體結構方面的信息,因此掌握晶體理論,進行相關信息的分析解讀是一個難點。