EBSD的發(fā)展大致經歷了以下五個階段：

第一階段是20世紀70年代，Venables等在掃描電鏡下觀察到背散射電子衍射菊池帶，即所謂的高腳菊池帶。這個發(fā)現(xiàn)開創(chuàng)了新的取向結構分析技術，當時沒有人能準確預測它能發(fā)展到什么程度。

第二階段是20世紀80~90年代，Dingley及Hjelen等人在英國和挪威開發(fā)出能用計算機標定取向的EBSD設備，并成功將EBSD技術商品化。

第三階段是20世紀90年代初在人工手動確定菊池帶的基礎上，人們先后成功研究出自動計算取向、有效圖像處理以及自動逐點掃描技術來確定菊池帶位置和類型。

第四階段是90年代后期，能譜分析與EBSD分析的有效結合集成化，使相鑒定更加有效和準確。

第五階段是原位分析技術，指SEM中的原位加熱、原位加力、FIB原位切割從而進一步實現(xiàn)3D-OIM。

在掃描電子顯微鏡（SEM）中，入射于樣品上的電子束與樣品作用，將會在每一個晶體或晶粒內規(guī)則排列的晶格面上產生衍射。從所有原子面上產生的衍射組成“衍射花樣”，這可被看成是一張晶體中原子面間的角度關系圖。衍射花樣包含晶系（立方、六方等）對稱性的信息，而且，晶面和晶帶軸間的夾角與晶系種類和晶體的晶格參數(shù)相對應，這些數(shù)據(jù)可用于EBSD相鑒定、取向分析等。

EBSD技術是基于掃描電子顯微鏡（SEM）中電子束在傾斜（一般為70°）樣品表面上激發(fā)出近似相干的背散射電子，被探頭收集并形成衍射菊池花樣，從而分析確定晶體結構、取向及相關信息的方法，在材料科學研究中獲得了非常廣泛的應用

EBSD相關基礎知識：

標定率：計算機準確標定出的菊池花樣點數(shù)占總采集點數(shù)的比值。

EBSD物相的鑒定需要計算機采集的物相信息（菊池花樣）與數(shù)據(jù)庫作比對。若一致，即可標定；若不一致，則無法標定，即無法準確判斷是什么物質。所以只有提供準確的物相信息，才能做準確的EBSD測試。

EBSD質量主要取決于標定率，而標定率影響因素主要有三個：1.晶粒完整性2.樣品內應力3.制樣水平 若樣品本身同時存在晶體和非晶，或樣品變形程度很大，抑或拋光質量不好，都將導致標定率偏低。另外，部分樣品自身是順磁性（如Fe、Co、Ni等）或者磁性（NdFeB等），會與SEM的磁線圈相互作用而導致實驗過程中SEM的像散發(fā)生動態(tài)變化，從而惡化EBSD的實驗效果。

• 提供準確物相PDF信息，若無具體PDF卡片，可先做XRD分析；

• 相同或相似的物相只能選擇其中一種進行標定；

• 變形量大的樣品，先做去應力處理，例如去應力退火；

• 磁性樣品需進行消磁處理；

• 樣品待測試面及其背面應該相互平行，試樣不宜過厚；

• 可先做金相看大概形貌，再做EBSD。

注：以上情況均可能導致實驗結果與預期不符。

由于樣品需要制樣及實驗時需粘在傾斜樣品臺上，所以樣品尺寸要盡可能的小，從而避免實驗過程中樣品由于自身重力而引起的機械漂移。為此，中科百測綜合考慮以上因素，制定了EBSD樣品遵循的標準如下：

樣品描述：

a）長寬高最好不超過8mm*8mm*8mm；

b）樣品待測試面及其背面應該相互平行；

c）待測試面應該采用砂紙研磨至2000#；

d）樣品應該干凈無殘留污染物。

EBSD測試過程中是逐點掃描的，其主要實驗參數(shù)包括：

（1）物相信息（PDF卡片）（2）放大倍數(shù)（3）測試面積 （4）掃描步長（5）標定率。

這幾點綜合決定了掃描時間。一般情況下樣品制備完成后，其標定率也即確定了。標定率越高，物相信息越準確，相同測試面積相同步長下情況下，掃描時間就越短。測試面積和步長的選擇一般遵循以下原則：

• 對于表征重點是晶粒尺寸或織構的情形，測試面積要足夠大，以包括1000個以上晶粒為宜，步長為平均晶粒尺寸的三分之一；

• 對于表征重點是變形亞結構、界面特征的情形，EBSD步長應盡可能小，為特征尺寸的十分之一為宜；

• 對于獲取滿足文章發(fā)表要求的情形，EBSD應采取粗掃+細掃組合，粗掃獲得大面積整體的特征，小步長（最小特征尺寸的五分之一到十分之一）細掃獲得小面積的精細的結構、取向信息；

• 對于其他常規(guī)情形，步長建議為平均晶粒尺寸的五分之一。